台积电取得半导体器件及其形成方法专利,半导体器件包括有源区和多种金属到漏极/源极接触结构
金融界2024年4月15日消息,据国家知识产权局公告开云全站游戏,台湾积体电路制造股份有限公司取得一项名为“半导体器件及其形成方法“,授权公告号CN113809077B,申请日期为2021年8月。
专利摘要显示,公开了一种半导体器件及其形成方法,半导体器件包括:有源区;第一、第二和第三金属到漏极/源极(MD)接触结构,在第一方向上延伸并对应地与有源区重叠;通孔到通孔轨,在垂直于第一方向的第二方向上延伸,并与第一开云全站游戏、第二和第三MD接触结构重叠;第一导电部开云全站游戏,与通孔到通孔轨重叠,处于第一金属化层中,并相对于第二方向与第一电子元件电路新闻动态、第二和第三MD接触结构中的每个重叠;以及第一通孔到MD(VD)结构开云全站,在第一MD接触结构与第一导电部之间,第一VD结构将第一导电部、通孔到通孔轨与第一MD接触结构电耦合电子元件电路新闻动态,其中,第二或第三MD接触结构中的至少一个与通孔到通孔轨电去耦。
Copyright © 2012-2023 开云·全站APP(中国)官方网站 版权所有 Powered by EyouCms